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PNP 6600A共晶焊固晶機

采用業(yè)內(nèi)獨特的夾片式軌道結(jié)構(gòu)，實現(xiàn)多段式軌道加熱，溫度最高可達450℃，軌道為密封式設(shè)計，可提供保護氣體氛圍，達到優(yōu)秀的共晶效果。

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多段式軌道加熱
可自動切換7個吸嘴同時貼合·具備預(yù)熱(max 250℃)、貼合(max 450℃)、
冷卻(max 250℃)三溫區(qū)加熱
·兼容多種保護氣體設(shè)置（氮/氮氫氣混合氣體）
·具備邦頭加熱功能，max 450℃，±3℃

多芯片
·支持MAX 8 EA多吸嘴自動更換
·支持MAX 5 EA多頂針自動更換

芯片倒裝
·支持倒裝芯片生產(chǎn)工藝

超薄基板
根據(jù)設(shè)定條件自動校準·支持MIN 0.08mm基板搬運

PROCESS工藝流程

Specifications技術(shù)規(guī)格

PNP 6600 A

X/Y貼裝精度±7um@3σ（標定片）
旋轉(zhuǎn)精度±0.1°@3σ（標定片）
Bondhead旋轉(zhuǎn)角度：0~360°
CPH ±7um：800（標準片，加熱時間500ms）
支持芯片尺寸：0.15~10mm
支持最大基板尺寸：300*100mm
Bondforce可選配10~1000gf，50~5000gf
選配倒裝模塊
選配非接觸激光測高模塊
選配自動上料機
選配自動下料機
選配晶圓自動送料模塊
選配自動上下料機
選配晶圓自動送料模塊
選配吸嘴庫
選配吸嘴庫
選配頂針庫
支持基板類型：FR4、lead-frame、strips、carrier、
boat,、ceramics、wafer
支持芯片類型：Wafer ring、Waffle pack、Gel pak、
Feeder、Wafer Expender Ring、Tray
設(shè)備尺寸：2190*1450*1700mm（含上下料機）
工作氣壓：0.4~0.6Mpa
設(shè)備重量：1500kg

PNP 6600A共晶焊固晶機

多段式軌道加熱 可自動切換7個吸嘴同時貼合·具備預(yù)熱(max 250℃)、貼合(max 450℃)、 冷卻(max 250℃)三溫區(qū)加熱 ·兼容多種保護氣體設(shè)置（氮/氮氫氣混合氣體） ·具備邦頭加熱功能，max 450℃，±3℃

多芯片 ·支持MAX 8 EA多吸嘴自動更換 ·支持MAX 5 EA多頂針自動更換

芯片倒裝 ·支持倒裝芯片生產(chǎn)工藝

超薄基板 根據(jù)設(shè)定條件自動校準·支持MIN 0.08mm基板搬運

X/Y貼裝精度±7um@3σ（標定片）

旋轉(zhuǎn)精度±0.1°@3σ（標定片）

Bondhead旋轉(zhuǎn)角度：0~360°

CPH ±7um：800（標準片，加熱時間500ms）

支持芯片尺寸：0.15~10mm

支持最大基板尺寸：300*100mm

Bondforce可選配10~1000gf，50~5000gf

選配倒裝模塊

選配非接觸激光測高模塊

選配自動上料機

選配自動下料機

選配晶圓自動送料模塊

選配自動上下料機

選配晶圓自動送料模塊

選配吸嘴庫

選配吸嘴庫

選配頂針庫

支持基板類型：FR4、lead-frame、strips、carrier、 boat,、ceramics、wafer

支持芯片類型：Wafer ring、Waffle pack、Gel pak、 Feeder、Wafer Expender Ring、Tray

設(shè)備尺寸：2190*1450*1700mm（含上下料機）

工作氣壓：0.4~0.6Mpa

設(shè)備重量：1500kg

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多段式軌道加熱
可自動切換7個吸嘴同時貼合·具備預(yù)熱(max 250℃)、貼合(max 450℃)、
冷卻(max 250℃)三溫區(qū)加熱
·兼容多種保護氣體設(shè)置（氮/氮氫氣混合氣體）
·具備邦頭加熱功能，max 450℃，±3℃

多芯片
·支持MAX 8 EA多吸嘴自動更換
·支持MAX 5 EA多頂針自動更換

芯片倒裝
·支持倒裝芯片生產(chǎn)工藝

超薄基板
根據(jù)設(shè)定條件自動校準·支持MIN 0.08mm基板搬運

CPH ±7um：800（標準片，加熱時間500ms）

支持基板類型：FR4、lead-frame、strips、carrier、
boat,、ceramics、wafer

支持芯片類型：Wafer ring、Waffle pack、Gel pak、
Feeder、Wafer Expender Ring、Tray

設(shè)備尺寸：219014501700mm（含上下料機）